| 摘要 |
두 개의 측정온도에 대응한 프로브 카드를 제공한다. 열원이 조립된 작업대 위에 배치된 피 검사체의 전기 시험을 위해 그 피검사체의 전극과 테스터를 접속하는 프로브 카드. 프로브 카드는, 테스터에 접속되는 도전로가 형성된 회로 기판과, 그 회로 기판의 상기 도전로에 대응하는 도전로가 형성되고, 그 도전로에 접속된 프로브가 마련되는 프로브 기판과, 그 프로브 기판에 결합되고, 그 프로브 기판의 열 신축을 구속하도록 상기 프로브 기판의 선 팽창 계수와 다른 선 팽창 계수를 가지며, 상기 프로브 기판과의 복합체를 구성하는 열 팽창 조정 부재를 포함한다. 상기 피 검사체가 두 개의 측정온도(T1,T'1)에 있을 때 상기 복합체가 대응하는 도달 온도(T2,T'2)에 있다고 하면, 각 측정 온도와 대응하는 도달 온도와의 온도 차이(T1-T2, T'1-T'2)에서의 상기 피 검사체 및 상기 복합체의 신축 변화량이 거의 동등해지도록 설정되어 있다. |
