优化通过材料沉积设备的前驱材料的蒸发的船形器皿

摘要

根据本发明的船形器皿包括被布置用以限定具有内部的容器的基底和侧壁。船形器皿的底部可具有凸构形。在特定实施例中，基底可具有凸构形，诸如圆柱的弯曲表面的一部分的形状，端壁位于基底的相对端处。这种船形器皿可具有新月形构形。每个船形器皿可被构形为靠着另一个船形器皿放置，使得能够组装多组船形器皿。还公开了容纳并有效地增加前驱材料的表面积的多单元结构。多单元结构可被构形为在船形器皿的内部中使用，或单独使用，而没有单独的船形器皿。还公开了被构形为容纳船形器皿和/或多单元结构的蒸发腔和材料沉积设备，以及用于将前驱材料引入材料沉积设备中的方法。

主权项

一种材料沉积设备，包括：蒸发腔，其包括用于容纳至少一个船形器皿的凹表面；以及至少一个船形器皿，其用于将前驱材料引入蒸发腔中，所述至少一个船形器皿包括被构形为与蒸发腔的凹表面互补的凸表面。