发明名称 |
一种压阻式压力传感器及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种压阻式压力传感器及其制备方法,该压力传感器包括LCP衬底、LCP薄膜层、金属电极、石墨烯薄膜层和石墨烯阵列层;LCP薄膜层固定连接在LCP衬底上,LCP薄膜层中设有阵列式结构的通孔,金属电极连接在LCP薄膜层两端的上方,石墨烯薄膜层连接在LCP薄膜层上,且石墨烯薄膜层填充金属电极之间的空隙和覆盖金属电极;石墨烯阵列层填充在LCP薄膜的通孔中,且石墨烯薄膜层和石墨烯阵列层连接。该压力传感器不仅具有了衬底可弯曲变形的优点,还具有良好的灵敏度,能够广泛使用于生物医学、可穿戴设备等领域。 |
申请公布号 |
CN105092117A |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201510512767.7 |
申请日期 |
2015.08.19 |
申请人 |
东南大学 |
发明人 |
聂萌;章丹;黄庆安 |
分类号 |
G01L1/18(2006.01)I;G01L9/06(2006.01)I |
主分类号 |
G01L1/18(2006.01)I |
代理机构 |
南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 |
代理人 |
杨晓玲 |
主权项 |
一种压阻式压力传感器,其特征在于,该压力传感器包括LCP衬底(1)、LCP薄膜层(2)、金属电极(3)、石墨烯薄膜层(4)和石墨烯阵列层(7);LCP薄膜层(2)固定连接在LCP衬底(1)上,LCP薄膜层(2)中设有阵列式结构的通孔,金属电极(3)连接在LCP薄膜层(2)两端的上方,石墨烯薄膜层(4)连接在LCP薄膜层(2)上,且石墨烯薄膜层(4)填充金属电极(3)之间的空隙和覆盖金属电极(3);石墨烯阵列层(7)填充在LCP薄膜(2)的通孔中,且石墨烯薄膜层(4)和石墨烯阵列层(7)连接。 |
地址 |
211189 江苏省南京市江宁区东南大学路2号 |