发明名称 一种压阻式压力传感器及其制备方法
摘要 本发明公开了一种压阻式压力传感器及其制备方法,该压力传感器包括LCP衬底、LCP薄膜层、金属电极、石墨烯薄膜层和石墨烯阵列层;LCP薄膜层固定连接在LCP衬底上,LCP薄膜层中设有阵列式结构的通孔,金属电极连接在LCP薄膜层两端的上方,石墨烯薄膜层连接在LCP薄膜层上,且石墨烯薄膜层填充金属电极之间的空隙和覆盖金属电极;石墨烯阵列层填充在LCP薄膜的通孔中,且石墨烯薄膜层和石墨烯阵列层连接。该压力传感器不仅具有了衬底可弯曲变形的优点,还具有良好的灵敏度,能够广泛使用于生物医学、可穿戴设备等领域。
申请公布号 CN105092117A 申请公布日期 2015.11.25
申请号 CN201510512767.7 申请日期 2015.08.19
申请人 东南大学 发明人 聂萌;章丹;黄庆安
分类号 G01L1/18(2006.01)I;G01L9/06(2006.01)I 主分类号 G01L1/18(2006.01)I
代理机构 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 代理人 杨晓玲
主权项 一种压阻式压力传感器,其特征在于,该压力传感器包括LCP衬底(1)、LCP薄膜层(2)、金属电极(3)、石墨烯薄膜层(4)和石墨烯阵列层(7);LCP薄膜层(2)固定连接在LCP衬底(1)上,LCP薄膜层(2)中设有阵列式结构的通孔,金属电极(3)连接在LCP薄膜层(2)两端的上方,石墨烯薄膜层(4)连接在LCP薄膜层(2)上,且石墨烯薄膜层(4)填充金属电极(3)之间的空隙和覆盖金属电极(3);石墨烯阵列层(7)填充在LCP薄膜(2)的通孔中,且石墨烯薄膜层(4)和石墨烯阵列层(7)连接。
地址 211189 江苏省南京市江宁区东南大学路2号