发明名称 |
石墨烯的制备设备及制备方法 |
摘要 |
本发明提供了一种石墨烯的制备设备及制备方法,该方法向真空度小于或等于1Torr的生长室中通入载气与碳源,利用线圈中交变电流电磁感应加热生长基体,生长石墨烯。与现有利用热传递或热辐射加热进行制备石墨烯相比,首先,本发明利用线圈中交变电流电磁感应在生长基体上产生涡旋电流,利用生长基体本身上的电流转化为热量,使得生长基体可迅速升温,同时断电后可迅速降温;其次,本发明无需对整个生长室加热,只需加热生长基体,而石墨烯是由生长基体附近碳源反应生成,因此,该方法能量利用率高;再次,本发明无需复杂而庞大的外围加热设备,系统结构简单,成本较低。 |
申请公布号 |
CN103276372B |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201310216803.6 |
申请日期 |
2013.06.03 |
申请人 |
中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
发明人 |
张为国;史浩飞;李占成;杜春雷 |
分类号 |
C23C16/46(2006.01)I;C01B31/04(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/46(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
赵青朵;李玉秋 |
主权项 |
一种石墨烯的制备设备,其特征在于,包括:供气系统;与所述供气系统相连接的生长室;与所述生长室相连接的抽真空装置;设置于所述生长室内的生长基体;缠绕于所述生长室外的线圈;所述线圈为铜芯线圈或铝芯线圈;与所述线圈相连通的交变电流源;所述交变电流源的频率为50Hz~30MHz;分别设置于所述生长室两侧的第一滚筒和第二滚筒,所述生长基体的一端卷绕于所述第一滚筒上,另一端搭置在所述第二滚筒上,所述生长基体可随第二滚筒的转动移动;所述第一滚筒与所述第二滚筒的转动方向相同;驱动所述第二滚筒转动的驱动系统。 |
地址 |
400714 重庆市北碚区方正大道266号 |