固体电解电容器元件、其制造方法及其制造用工具

摘要

本发明涉及固体电解电容器元件的制造方法，其包括对于在表面形成有电介质层的多个阳极体，在各阳极体的电介质层上同时地形成半导体层的工序，形成半导体层的工序包含反复进行多次的下述操作的步骤，所述操作是从与各个阳极体接触的供电端子通电来进行电解聚合的操作，进行至少一次的电解聚合的操作中，一边在每个供电端子5～200μA的范围变更电流量一边连续地进行通电。本发明还涉及电解聚合用工具，其用于在形成于阳极体的表面上的电介质层上形成半导体层，其具有：（i）在绝缘基板上的、可在下限值和上限值之间连续改变通电量的多个电源电路；和（ii）与所述多个电源电路的各输出电连接的、用于与阳极体接触的供电端子。本发明通过电解聚合在多个阳极体的电介质层上以高含浸率同时地形成半导体层，可得到耐湿性能良好的电容器元件组。

主权项

一种固体电解电容器元件的制造方法，其包括对于在表面形成有电介质层的多个阳极体，在各阳极体的电介质层上同时地形成半导体层的工序，该制造方法的特征在于，形成半导体层的工序包含反复进行多次的下述操作的步骤，所述操作是从与各个阳极体接触的供电端子通电来进行电解聚合的操作，进行至少一次的电解聚合的操作中，一边在每个供电端子5～200μA的范围变更电流量一边连续地进行通电，一边变更电流量一边进行的所述通电，通过使电流量从上限值向下限值减少，再从下限值向上限值恢复，或者从下限值向上限值增加，再从上限值向下限值恢复来进行，在30秒～30分的时间内进行上限‑下限之间的电流量的增减。