使用内部激光调制的立体光刻系统和方法

摘要

公开了使用内部激光调制的立体光刻系统（10）和方法。该系统包括内部调制的二极管泵浦倍频固态（DPFMSS）激光器40。在激光器和扫描系统（80）之间的外部光路（OPE）之内没有外部调制系统（EMS）。扫描系统将具有激光脉冲（72P）的激光波束（72）引导到建造材料（22）的表面（23）上的焦点位置（FP），以在其中形成针（25），以基于用于形成三维对象（32）的建造指令来定义建造层（30）。

主权项

一种通过使用具有Q开关和激光二极管组件的二极管泵浦倍频固态（DPFMSS）激光器来由建造材料形成三维对象的方法，所述方法包括：通过使用Q开关的脉冲宽度调制或激光二极管组件的电流调制，来通过内部调制控制DPFMSS激光器，以生成包括激光脉冲的激光波束，所述激光脉冲具有定义激光波束功率的选定能量，所述选定能量基于用于建造三维对象的建造指令；在外部光路上从激光器向扫描系统引导激光波束，而不在外部光路之内执行外部调制；通过使用扫描系统，来将激光波束引导到建造材料上的焦点位置，以在其中形成针，以基于建造指令来定义建造层；以及重复建造层形成，以由建造材料形成三维对象，同时调整激光波束功率和焦点位置，以校正激光波束功率和焦点位置的变化。