| 发明名称 | 一种在玻璃基板上重新制作扫描线的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提出了一种在玻璃基板上重新制作扫描线的方法，其包括：步骤一：向玻璃基板上的对位记号凹槽内填充不透光材料以在对位记号凹槽内形成基板标记；步骤二：将扫描线掩膜上的且透光的第一对位标记与基板标记对应对齐。采用本方法重新在玻璃基板上制作扫描线，在玻璃基板上不会出现重影的现象。由此不会出现由于玻璃基板上有重影而导致曝光机无法抓取新对位记号的现象。 | ||
| 申请公布号 | CN105097674A | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN201510561435.8 | 申请日期 | 2015.09.07 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 高鹏 |
| 分类号 | H01L21/77(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/77(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人 | 张少辉;刘华联 |
| 主权项 | 一种在玻璃基板上重新制作扫描线的方法，包括：步骤一：向所述玻璃基板上的对位记号凹槽内填充不透光材料以在所述对位记号凹槽内形成基板标记；步骤二：将扫描线掩膜上的且透光的第一对位标记与所述基板标记对应对齐。 | ||
| 地址 | 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 | ||