| 摘要 |
【課題】テクスチャが形成されたシリコンウエーハの調製にあたって、単結晶シリコンインゴットからの切削工程、洗浄工程、マクロエッチングの停止工程及びテクスチャ形成工程の各工程に、同じ組成の処理液を用いることができ、又前工程の処理液の悪影響が実質的に無いため、工程間の水洗を簡素化でき、工程管理が容易で、製造効率を顕著に向上させることができるシリコンウエーハの表面処理組成物を提供すること。【解決手段】（Ａ）無機アルカリ剤、（Ｂ）界面活性剤、（Ｃ）グリコール類、（Ｄ）グリコールエーテル類、（Ｅ）尿素及び（Ｆ）アミノ酸類と、水とを含有し、且つ酸化剤を含有しない、シリコンウエーハの表面処理組成物。【選択図】なし |
