发明名称 |
利用多电极形成孔 |
摘要 |
一种用于在以薄片材和基板形式的电介质工件(1)中、特别是在玻璃或玻璃状材料和半导体中产生孔(12)的设备。对称地围绕工件(1)中要产生的孔(12),将独立电极(6a、6b、6c)布置在电极保持件(21)上,并且将独立对电极(7a、7b、7c)布置在对电极保持件(31)上。独立电极(6a、6b、6c)和独立对电极(7a、7b、7c)能够以置换方式连接至用于释放高电压闪络的高电压源。 |
申请公布号 |
CN102971121B |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201180033225.1 |
申请日期 |
2011.07.04 |
申请人 |
肖特公开股份有限公司 |
发明人 |
库尔特·纳特尔曼;乌尔里希·珀什尔特;沃尔夫冈·默勒;斯蒂芬·贝勒;德克·魏德曼;赛宾·莱尼克 |
分类号 |
B26F1/28(2006.01)I |
主分类号 |
B26F1/28(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
李宝泉;周亚荣 |
主权项 |
一种用于在以薄片材和基板形式的电介质工件(1)中产生孔(12)的设备,具有以下特征:‑电极保持件(21)和对电极保持件(31)的布置限定用于所述工件(1)的处理空间(23);‑在所述工件的任一侧相对彼此布置的电极(6)和对电极(7)由所述电极保持件(21)和对电极保持件(31)支撑并且连接至高电压源;‑提供工件保持件(5)以用于相对于所述电极保持件(21)和对电极保持件(31)转移所述工件(1);‑所述电极(6)中的每一个包括多个独立电极(6a、6b、6c),并且所述对电极(7)中的每一个包括多个独立对电极(7a、7b、7c),所述独立电极对称布置在所述工件(1)中要形成的每个孔(12)的周围;‑所述工件保持件(5)在所述处理空间(23)中定位要被穿孔的所述工件(1),并且其穿孔点(10)位于所述独立电极(6a、6b、6c)和所述独立对电极(7a、7b、7c)之间的对称线上;‑所述独立电极(6a、6b、6c)和所述独立对电极(7a、7b、7c)交替连接至高电压源以提供高电压击穿。 |
地址 |
德国美因兹 |