发明名称 |
去除芯片上锡球的方法 |
摘要 |
本发明提供一种去除芯片上锡球的方法。该方法包括:将其上设置有锡球的芯片放置在腐蚀液中浸泡,其中,所述腐蚀液是通过将浓度为70%的硝酸溶液与去离子水按1∶1的体积比配置而成的;取出所述芯片并使用水进行冲洗;将所述芯片放置在盛放有水的容器中进行超声波震荡清洗。本发明的方法通过使用浓度为70%的硝酸溶液与去离子水按1∶1的体积比配置的腐蚀液,可以完全将芯片表面的锡球去除,并且不会对焊垫产生影响。 |
申请公布号 |
CN103187239B |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201110451503.7 |
申请日期 |
2011.12.29 |
申请人 |
无锡华润上华半导体有限公司 |
发明人 |
王金成;张伟 |
分类号 |
H01L21/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京市磐华律师事务所 11336 |
代理人 |
徐丁峰;汪洋 |
主权项 |
一种去除芯片上锡球的方法,其特征在于,包括:将其上设置有锡球的芯片放置在腐蚀液中浸泡,其中,所述腐蚀液是通过将浓度为70%的硝酸溶液与去离子水按1:1的体积比配置而成的,所述芯片上的所述锡球下方的UBM和聚合物层与所述腐蚀液反应,而使得所述锡球自动脱落;取出所述芯片并使用水进行冲洗;将所述芯片放置在盛放有水的容器中进行超声波震荡清洗。 |
地址 |
214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 |