发明名称 去除芯片上锡球的方法
摘要 本发明提供一种去除芯片上锡球的方法。该方法包括:将其上设置有锡球的芯片放置在腐蚀液中浸泡,其中,所述腐蚀液是通过将浓度为70%的硝酸溶液与去离子水按1∶1的体积比配置而成的;取出所述芯片并使用水进行冲洗;将所述芯片放置在盛放有水的容器中进行超声波震荡清洗。本发明的方法通过使用浓度为70%的硝酸溶液与去离子水按1∶1的体积比配置的腐蚀液,可以完全将芯片表面的锡球去除,并且不会对焊垫产生影响。
申请公布号 CN103187239B 申请公布日期 2015.11.25
申请号 CN201110451503.7 申请日期 2011.12.29
申请人 无锡华润上华半导体有限公司 发明人 王金成;张伟
分类号 H01L21/02(2006.01)I 主分类号 H01L21/02(2006.01)I
代理机构 北京市磐华律师事务所 11336 代理人 徐丁峰;汪洋
主权项 一种去除芯片上锡球的方法,其特征在于,包括:将其上设置有锡球的芯片放置在腐蚀液中浸泡,其中,所述腐蚀液是通过将浓度为70%的硝酸溶液与去离子水按1:1的体积比配置而成的,所述芯片上的所述锡球下方的UBM和聚合物层与所述腐蚀液反应,而使得所述锡球自动脱落;取出所述芯片并使用水进行冲洗;将所述芯片放置在盛放有水的容器中进行超声波震荡清洗。
地址 214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号