载体装置和制造载体装置的方法

摘要

一种硅块（31）载体（13），设计作为载体装置（11）的一部分，与载体下部（25）一起固定连接到硅块（31），并且与其一起移动，来通过锯削、清洁或诸如此类来机械加工。载体（13）指向硅块（31）的底面具有多个通道（29），正如连接到此处的载体下部（25），在不同的情况中，通道（29）一个置于另一个之上。水从上面引入到载体（13）中的通道（29）中并且能够延伸通过位于锯削的硅块（31）的晶片之间的载体下部（25）中的锯削槽，用于清洁目的。

主权项

载体装置，具有：金属的载体(13)，和载体下部，其被紧固到所述载体的底面，以便将硅块连接于载体下部的底面上，所述载体下部由非金属材料制成，其中，所述载体在其底面(15)处具有多个凹部、通道、刻痕或槽，以及所述载体下部在其连接到所述载体的顶面(26)上具有多个凹部、通道、刻痕或槽(17)，而在其底面(27)处构造为平面的，且没有中断或下凹或凸起。