等离子体增强式化学气相沉积设备及其控制方法

摘要

公开一种等离子体增强式化学气相沉积设备，包括在其上装载并运送物体以通过等离子体反应将功能膜设置到物体的托台，其中托台包括基座、固定物体的夹具以及固定件，固定件的上侧布置在基座上以将物体固定到托台。

主权项

一种在换热器上形成功能膜的等离子体增强式化学气相沉积设备的托台，所述托台包括：基座；固定所述换热器的夹具；和至少一个固定件，布置在所述基座上，并在所述至少一个固定件的上侧选择性地接纳所述夹具，以将所述换热器固定到所述托台，从而通过利用等离子体反应在所述换热器上形成功能膜，其中所述夹具包括：本体，包括凹部，用以接纳所述换热器的一部分；支撑部；和槽，布置在所述本体与所述支撑部之间；所述至少一个固定件包括调整板和固定板，所述调整板具有多个孔，所述多个孔用以与所述夹具连接，从而改变所述夹具的固定位置；所述固定板设置在所述夹具与所述调整板之间，以固定所述夹具；并且所述固定板具有与所述调整板的多个孔对应的多个槽，并且所述固定板的所述多个槽朝向将被所述夹具的槽插入的预设定的方向开口。