| 摘要 |
【課題】検査点に対するプローブの接触安定性を向上することが可能な検査治具及び基板検査装置を提供する。【解決手段】対向プレート５１と、支持プレート６１とを備え、対向プレート５１には、プローブＰｆを挿通するための電流用挿通孔Ｈｆと、プローブＰｓを挿通するための検出用挿通孔Ｈｓとを対にして、当該対が複数対形成され、支持プレート６１には、電流用挿通孔Ｈｆ、検出用挿通孔Ｈｓに対応して設けられ、プローブＰｆを挿通するための支持孔Ｈ６１及びプローブＰｓを挿通するための支持孔Ｈ６１が形成され、対になる電流用挿通孔Ｈｆ及び検出用挿通孔Ｈｓの各挿通孔は、互いの内壁面における他方の挿通孔から離れた側の壁面Ｆ１，Ｓ１が、対向面Ｆから離れるにつれて他方の挿通孔から離れる方向に傾斜している。【選択図】図５ |
