| 摘要 |
반사층에서 높은 반사율을 유지하면서 광을 통과시키는 개구부에서 광의 투과율을 개선할 수 있는 디스플레이 디바이스를 제공하기 위하여, 광원의 광을 효과적으로 활용하기 위하여 엘리먼트 기판에 제공된 반사층을 구성하도록 금속막 및 반사 증가 막을 사용한다. 금속막을 남기면서 광원의 광을 통과시키는 개구부에서 반사 증가 막의 일부분인 실리콘 질화물 막을 남긴다. 동시에, 반사 증가 막의 실리콘 질화물 막의 막 두께는 입사광의 파장의 1/4이며 다른 한편으로 개구부에서 실리콘 질화물 막의 두께는 입사광의 파장의 1/2이다. 반사 증가 막의 일부분인 실리콘 질화물 막 및 층간 유전체 막의 최상부 층에 제공된 패시베이션 막은 이러한 구성을 달성하기 위하여 개구부에 적층된다. |
