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<p>정전분무 증착에 의한 MOF 분리막의 제조방법, 이에 의해 제조된 분리막, 및 이에 관한 장치에 관한 것으로서, 보다 상세히는, 용매를 포함하는 하전된 전구체 미세 액적을 형성하고, 이를 분사하는 단계; 상기 분사된 미세 액적이, 열구배 구역을 거치면서 이동하여 용매 일부를 증발시키는 단계; 및 상기 열구배 구역을 거쳐 이동된 미세 액적을 기재 상 표면에 안착 및 분산 시키는 단계를 순차적으로 포함하되, 상기 기재 상 표면 온도는, 상기 용매의 비등점 이상인 것을 특징으로 하는 정전분무 증착에 의한 MOF 분리막 제조방법이다. 본 발명의 방법은, 정전기 하전을 통한 초미세 액적을 만들어 내는 정전기력 분무방법으로서, 정전분무의 특성상, 합성시간 및 전구체의 소비를 비약적으로 줄일 수 있으며, 공정이 단순할 뿐 아니라, 분리막의 두께 조절도 용이하다.</p> |
