| 摘要 |
타겟 지점에 진입하기 전에 공간적으로 확장된 타겟 분포 또는 확장된 타겟으로 변형된 타겟 재료로부터의 피드백으로 극자외 광원으로부터의 파워를 향상시키는 기술을 개시한다. 왕복 길이 및 방향(round-trip length and direction)과 같은 피드백이 발생하는 경로의 지오메트리가 시간에 맞게 바뀔수 있거나 또는 공간적으로 확장된 타겟 분포의 형상이 매끄러운 충분한 반사도(reflectance)를 제공하지 못할 수도 있기 때문에 공간적으로 확장된 타겟 분포로부터의 피드백은 비공진성 광학 캐비티(nonresonant optical cavity)를 제공다. 그러나, 전술한 기하학적 및 물리적 제약이 극복된다면, 공간적으로 확장된 타겟 분포로부터의 피드백이 공진성 및 코히어런트성 광학 캐비티를 제공하는 것이 가능하게 될 수 있다. 어떠한 경우에, 피드백은 비-발진기 이득 매체(non-oscillator gain medium)로부터 발생되는 자발적으로 방출된 광(spontaneously emitted light)을 사용하여 발생될 수 있다. |
