| 主权项 |
一种晶圆载运器，包含一卡匣盒及一卡匣盒容器，并用以容纳薄片状之复数晶圆，该卡匣盒包含：一对侧壁，界定用于容纳复数晶圆之复数狭槽；一对端壁，延伸于该等侧壁之间，该等端壁其中之一被构造成一工字钢(H-bar)形机器介面；以及一对细长支脚，分别自该等侧壁向下延伸；该卡匣盒容器包含可容置于该卡匣盒中之一底部基座部以及可附装至该底部基座部之一顶盖，各该顶盖与该底部基座部皆具有四壁以及一共用壁，该共用壁跨越该四壁之间，各该顶盖与该底部基座部皆具有一接合部(juncture)，以用于将该顶盖闭合至该底部基座部，该卡匣盒容器更包含一上衬垫及一下衬垫，该上衬垫可附装至该顶盖，该下衬垫安放于该底部基座部之一容置区中，该上衬垫包含复数凹槽以容纳该等晶圆，该上衬垫更包含复数导向器，该等导向器沿径向向内延伸以安置容纳于该等凹槽内之该等晶圆。
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