于基底中形成图案的方法

主权项

一种于基底中形成图案的方法，包括：提供具有图案区域的基底；在所述图案区域中，于所述基底上形成多个条状罩幕层，在所述条状罩幕层中，至少二个相邻的所述条状罩幕层分别具有突出部，且所述突出部面向彼此；于所述条状罩幕层的侧壁上形成间隙壁，其中所述间隙壁的厚度大于二个所述突出部之间的距离的一半；移除所述条状罩幕层；以所述间隙壁为罩幕，进行蚀刻制程，以于所述基底中形成沟渠；以及于沟渠中填入材料，在形成所述间隙壁之后以及移除所述条状罩幕层之前，更包括在所述图案区域外形成块状罩幕层，其中所述块状罩幕层覆盖部分所述间隙壁。