| 摘要 |
<p>캐리어 이송 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 시스템은, 게이트 밸브를 사이에 두고 이격 배치되며, 하부 영역에 다수의 제1 및 제2 롤러가 각각 마련되는 제1 및 제2 공정 챔버; 적어도 하나의 기판이 탑재되며, 제1 공정 챔버, 게이트 밸브 및 제2 공정 챔버 간을 이송하는 캐리어; 및 캐리어와 게이트 밸브에 마련되며, 캐리어가 제1 및 제2 롤러 사이의 불연속 구간을 지날 때, 캐리어의 무게중심을 보상하는 무게중심 보상부를 포함한다.</p> |
