一种用于硅单晶炉的收尘器及硅单晶炉系统

摘要

本实用新型公开了一种用于硅单晶炉的收尘器及硅单晶炉系统，主体外形是圆柱形，内部分为上下两个室，上部是过滤室，下部是下部收尘室，上下两个室由中心风管连通，过滤室设有中心清洗水管、周边清洗水管、盖子、抽气口、排污管、金属滤网、反吹氮气管；盖子盖住过滤室；金属滤网成环状，将过滤室分成内外室；下部收尘室设有旋风分离器体、进气口、下部冲洗水管，旋风分离器体的顶部被中心风管贯穿，底部穿出下部收尘室的底端，底部穿出的部分依次连有集灰斗、排尘管真空阀、排尘管。本新型采用所述旋风分离器，可显著提高单晶炉尾气中粉尘的收尘效率，增加真空泵的使用寿命和单晶炉真空系统的可靠性；在生长重度掺杂的硅单晶时，效果尤为突出。

主权项

一种用于硅单晶炉的收尘器，其特征在于：主体外形是圆柱形，内部分为上下两个室，上部是过滤室(4)，下部是下部收尘室(7)，上下两个室由中心风管(5)连通，过滤室(4)设有中心清洗水管(1)、周边清洗水管(2)、盖子(3)、抽气口(6)、排污管(15)、金属滤网(17)、反吹氮气管(18)；盖子(3) 盖住过滤室(4)；金属滤网(17)成环状，将过滤室(4) 分成内外室；中心清洗水管(1)的上部穿出盖子(3)，下部插入中心风管(5)；周边清洗水管(2)位于过滤室(4)的内室，上部穿出盖子(3)；反吹氮气管(18)位于过滤室(4)的外室，上部穿出盖子(3)；抽气口(6)、排污管(15)相对设置，位于过滤室(4)的外室的底部；下部收尘室(7)设有旋风分离器体(8)、进气口(12)、下部冲洗水管(14)，旋风分离器体(8)的顶部被中心风管(5) 贯穿，底部穿出下部收尘室(7)的底端，底部穿出的部分依次连有集灰斗(9)、排尘管真空阀(10)、排尘管(11)；进气口(12) 与旋风分离器体(8) 的上端相切连通；下部冲洗水管(14)穿过下部收尘室(7)侧壁从旋风分离器体(8)的顶部穿入。