增强镀膜玻璃耐磨和耐腐蚀性能的溅射靶材及制造方法

摘要

增强镀膜玻璃耐磨和耐腐蚀性能的靶材及其制备方法，靶材的主要成分是锆基材料，靶材形状和规格不受限制，可以制成旋转靶材和平面靶材，旋转靶材用等冷喷涂和等离子喷涂工艺制备，平面靶材用粉末冶金工艺制备靶块，再拼接绑定成大尺寸靶材；靶材结构致密、成分均匀、导电性好；密度为(5.3～5.9)g/cm³，相对密度均＞90％。该靶材具有良好的溅射性能，弧光稳定，溅镀速率为(0.5～1.0)nm*m/min，镀制的锆基膜层作为保护膜，和相邻膜层之间有良好的结合力，具有良好的耐磨性和耐候性,玻璃镀膜后不需要膜面保护，可长期储存，便于异地深加工，并有效防止镀膜玻璃在后续深加工过程中划伤报废，合片前不需边部除膜。

主权项

一种增强镀膜玻璃耐磨和耐腐蚀性能的溅射靶材,其特征在于，靶材的主要成分是锆基材料，靶材结构致密、成分均匀、导电性好、无裂纹；制成旋转靶材或平面靶材，靶材密度为(5.3～5.9)g/cm³；该靶材溅镀速率为(0.5～1.0)nm*m/min，镀制的锆基膜层作为保护膜,替代玻璃镀膜后膜面保护或贴膜保护，钢化过程不氧化，玻璃合片前不除膜。