升降装置和真空镀膜腔室

摘要

本实用新型涉及一种升降装置和具有该升降装置的真空镀膜腔室，该升降装置包括上板和下板，所述下板在与上板相对的顶面上设有斜块，所述上板在与下板相对的底面设有导轮，所述导轮与斜块的斜面保持接触并能顺着斜面滑动，所述下板设有一驱动机构，用于驱动下板做沿着斜面延伸方向的水平运动，以带动上板升降。该升降装置通过斜块和导轮配合，在驱动机构的驱动下，下板水平线性运动，导轮沿着斜面运动，带动上板做升降运动。该升降装置调节精度高，能做到无级调节。而且该升降装置无需复杂的导轨导滑结构，结构紧凑，成本低，操作便利，效率高，可广泛应用在真空镀膜腔室等设备中。

主权项

一种升降装置，其特征在于，包括上板和下板，所述下板在与上板相对的顶面上设有斜块，所述上板在与下板相对的底面设有导轮，所述导轮与斜块的斜面保持接触并能顺着斜面滑动，所述下板设有一驱动机构，用于驱动下板做沿着斜面延伸方向的水平运动，以带动上板升降。