一种白光干涉原子力扫描探针的标定装置及其标定方法

摘要

本发明公开了一种基于接触测量的白光干涉原子力扫描探针标定系统及标定方法，该标定系统包括面CCD测量系统，原子力探针扫描显微镜组件，白光光源系统，纳米级垂直微位移平台、激光干涉位移计量系统以及数据处理系统，其中面CCD测量系统、白光光源系统以及原子力探针扫描显微镜组件固定于纳米级垂直微位移平台上，并通过接收主控机的控制产生位移从而使所述原子力探针扫描显微镜组件中的探针发生形变；所述激光干涉位移计量系统设置于所述纳米级垂直微位移平台之上，用于计量其作用于所述探针上的位移量，按照本发明的标定方法，能够实现高精度的快速标定。

主权项

一种基于接触测量的白光干涉原子力扫描探针的标定装置，其特征在于，该标定装置包括面CCD测量系统(7)，原子力扫描探针组件(1)，白光干涉光源系统，纳米级垂直微位移平台(5)、激光干涉位移计量系统(6)以及控制主机(9)；纳米级垂直微位移平台(5)接收控制主机(9)的控制产生位移从而使所述原子力扫描探针组件(1)中的探针发生形变；所述激光干涉位移计量系统(6)的动镜设置于所述纳米级垂直微位移平台(5)之上，用于计量其作用于所述探针上的位移量传送于所述控制主机(9)；白光干涉光源系统接收所述控制主机(9)的控制产生测试的白光干涉光源传输于原子力扫描探针组件(1)，其产生包含所述探针形变信息的干涉条纹；所述面CCD测量系统(7)接收包含所述探针形变信息的干涉条纹，控制主机(9)连接所述面CCD测量系统(7)，分析所述干涉条纹。