微机电磁性生物传感器

摘要

本发明涉及一个微机电磁性生物传感器，该磁性传感器包含一个热辅助巨磁阻测量单元，该测量单元包含一个热阻层，该热阻层的电导率等于或高于37.8×10⁶S/m，而其热导率等于或小于1.5Wm^-1K^-1。

主权项

一种微机电磁性生物传感器，包括：衬底，该衬底包含一个电路；在衬底上的两个传感器层，一个传感器层作为参考单元，另一个传感器层作为信号单元，分别用来测量背景信号和测量目标磁场信号；和生物薄膜层，覆盖在传感器层的上表面；其中，每个所述传感器层包含：反铁磁层，位于所述衬底上，用来固定钉扎层的磁化方向；钉扎层，位于所述反铁磁层上，其磁化方向不随目标磁场变化；非磁性空间层，位于所述钉扎层上；自由层，位于所述非磁性空间层上，其磁化方向可以随目标磁场变化；硬磁层，位于自由层上，该硬磁层的阻隔温度高于室温；热阻层，该热阻层处于硬磁层的上表面或者下表面；至少两个测量电流电极，自由层、非磁性空间层、钉扎层被夹在该至少两个电流电极之间；和至少两个热电流电极，该至少两个热电流电极连接到硬磁层和一个电流源用于对该硬磁层加热。