| 发明名称 | 一种硅片抛光盘 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种硅片抛光盘，包括盘体和若干个设置在盘体上的贯穿槽，所述贯穿槽包括依次连接在一起的第一槽、第二槽和第三槽，所述第二槽沿盘体的周向延伸，所述第一槽连接在第二槽的前端，所述第三槽连接在第二槽的末端，所述贯穿槽还包括一U型槽，所述U型槽连接在第三槽的末端。本实用新型抛光后的硅片，质量可靠、不易变形。 | ||
| 申请公布号 | CN204772147U | 申请公布日期 | 2015.11.18 |
| 申请号 | CN201520480388.X | 申请日期 | 2015.07.02 |
| 申请人 | 温州市赛拉弗能源有限公司 | 发明人 | 孙显强 |
| 分类号 | B24D13/14(2006.01)I | 主分类号 | B24D13/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人 | 汤东凤 |
| 主权项 | 一种硅片抛光盘，包括盘体(10)和若干个设置在盘体(10)上的贯穿槽，其特征在于，所述贯穿槽包括依次连接在一起的第一槽(11)、第二槽(12)和第三槽(13)，所述第二槽(12)沿盘体(10)的周向延伸，所述第一槽(11)连接在第二槽(12)的前端，所述第三槽(13)连接在第二槽(12)的末端，所述贯穿槽还包括一U型槽，所述U型槽连接在第三槽(13)的末端。 | ||
| 地址 | 325011 浙江省温州市经济技术开发区滨海一道1677号 | ||