发明名称 一种导电线路的改进型模板电镀剥离工艺
摘要 本发明为一种导电线路的改进型模板电镀剥离工艺。在可导电的载体箔的一面粘附上绝缘基材,使载体箔的一面暴露在外;在载体箔的暴露面进行预处理,然后在暴露面上制备掩膜,暴露出所需导电线路的图形;将载体箔表面浸涂上特定防粘聚硅氧烷涂层,在掩膜和掩膜暴露处的表面上形成一层致密聚硅氧烷化合物,得到电镀模板;使用电镀的方法,在电镀模板的暴露处电沉积上所需种类和厚度的镀层;在线路基板上涂覆胶黏剂,与电镀后的模板粘合在一起;将电镀模板从线路基板上剥离下来,模板上的镀层会转移到线路基板上,得到所需导电线路,而电镀模板则可以重复使用。本工艺制备导电线路不需要掩膜的反复制备,不需要对金属层进行腐蚀,可卷对卷生产,具有工艺简单,污染小,浪费少,成本低等优点,极具应用价值。
申请公布号 CN105072816A 申请公布日期 2015.11.18
申请号 CN201510409577.2 申请日期 2015.07.14
申请人 复旦大学 发明人 常煜;杨振国
分类号 H05K3/10(2006.01)I 主分类号 H05K3/10(2006.01)I
代理机构 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人 张磊
主权项 一种导电线路的改进型模板电镀剥离工艺,其特征在于整个工艺分为模板制备和导电线路制备两个部分,具体步骤为:(1)模板制备(1.1)在导电性载体箔的一面粘附上绝缘基材,使载体箔的一面暴露在外,对载体箔进行预处理,所述预处理包括除油和除氧化层;(1.2)在载体箔上制备掩膜,暴露出线路图形;(1.3)将制备掩膜的载体箔表面进行处理,包括除油和除氧化层,然后浸入防粘聚硅氧烷溶液中,取出后加热烘干,使掩膜和线路图形处表面形成一层聚硅氧烷涂层,得到所需电镀模板;(2)导电线路制备(2.1)将步骤(1)制备得到的电镀模板浸入电镀液中进行图形电镀,在掩膜暴露处聚硅氧烷涂层上电镀上所需种类和厚度的镀层;(2.2)电镀后的模板清洗干燥后与线路基板进行粘合,采用胶黏剂涂覆在电镀后的模板上然后与线路基板粘合,或采用胶黏剂涂覆在线路基板上然后与模板粘合,通过后处理,使模板与线路基板紧密粘合;(2.3)将模板与线路基板进行剥离,镀层会转移到线路基板上,镀层转移后的模板再次进行图形电镀的步骤,以制备下一个导电线路;(2.4)镀层转移的线路基板通过后处理,得到所需导电线路。
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