| 发明名称 | 一种偏角度切割组合式工件夹具 | ||
| 摘要 | 一种偏角度切割组合式工件夹具，适用于半导体晶圆硅片加工。本实用新型中燕尾棱晶托（2）解决了晶圆硅片切割中当晶棒切割到线网下时，晶棒的一端会碰到线网接料盒的端面，造成切割设备过载报警或者整支晶棒的破碎和报废问题，燕尾棱型结构设计的晶托（2）配合新设计的燕尾槽（5），充分利用两只晶棒中间的空间，实现了6英寸及以下晶棒偏角度切割。 | ||
| 申请公布号 | CN204773088U | 申请公布日期 | 2015.11.18 |
| 申请号 | CN201520515344.6 | 申请日期 | 2015.07.16 |
| 申请人 | 麦斯克电子材料有限公司 | 发明人 | 寇文杰;史舸;焦二强;王晓飞;魏海霞 |
| 分类号 | B28D7/04(2006.01)I | 主分类号 | B28D7/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人 | 卢洪方 |
| 主权项 | 一种偏角度切割组合式工件夹具，其特征是：所述的偏角度切割组合式工件夹具，主要是由工件板（1）、晶托（2）、顶丝（3）、斜铁（4）、燕尾槽（5）、燕尾棱夹具（6）构成；其中，工件板（1）通过内六方螺丝与晶托（2）连接在一起；晶托（2）安装在燕尾棱夹具（6）上；斜铁（4）通过顶丝（3）压紧晶托（2）和燕尾槽（5），使晶托（2）和燕尾槽（5）紧密配合在一起；燕尾槽（5）通过内六方螺丝与设备的进给机构（7）连接。 | ||
| 地址 | 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号 | ||