一种具有复合密封方式的静压气体轴承及其使用方法

摘要

一种具有复合密封方式的静压气体轴承及其使用方法，它至少由：轴承体(1)、电加热器(2)、回流槽(3)、供气孔I(4)、气腔(5)、节流孔(6)、供气孔II(7)、承载面(8)、回流孔I(9)、回流孔II(10)、机械泵(11)、机械泵进气管(12)、开关阀(13)、真空泵排气管(14)、真空泵(15)、真空泵进气管(16)、插板阀(17)、压缩机(18)、压缩机排气管(19)和调压阀(20)组成，本发明使静压气体轴承可工作在真空或超洁净环境并能避免润滑气体对真空或超洁净环境的污染。

主权项

一种具有复合密封方式的静压气体轴承，它至少由：轴承体(1)、电加热器(2)、回流槽(3)、供气孔I(4)、气腔(5)、节流孔(6)、供气孔II(7)、承载面(8)、回流孔I(9)、回流孔II(10)、机械泵(11)、机械泵进气管(12)、开关阀(13)、真空泵排气管(14)、真空泵(15)、真空泵进气管(16)、插板阀(17)、压缩机(18)、压缩机排气管(19)和调压阀(20)组成，其特征在于，所述的轴承体(1)上设置电加热器(2)，轴承体(1)与承载面(8)之间的气膜(21)与回流槽(3)下部连通，回流槽(3)上部通过回流孔I(9)与回流孔II(10)连通，回流孔II(10)与插板阀(17)的进气口连通，插板阀(17)的出气口通过真空泵进气管(16)与真空泵(15)的进气口连通，真空泵(15)的出气口通过真空泵排气管(14)与开关阀(13)的进气口连通，开关阀(13)的出气口通过机械泵进气管(12)与机械泵(11)的进气口连通，压缩机(18)的出气口通过压缩机排气管(19)与调压阀(20)的进气口连通，调压阀(20)的出气口与供气孔I(4)连通，供气孔I(4)通过供气孔II(7)与节流孔(6)连通，节流孔(6)通过气腔(5)与气膜(21)连通，回流槽(3)、回流孔I(9)、回流孔II(10)、插板阀(17)、真空泵进气管(16)、真空泵(15)、真空泵排气管(14)、开关阀(13)、机械泵进气管(12)和机械泵(11)组成轴承排气系统(K)。