标记装置、制造装置及标记方法

摘要

本发明涉及标记装置、制造装置及标记方法。提供能够有助于装置的小型化及基材的稳定输送的标记装置。具有多个处理装置和在多个处理装置之间输送基材的输送部。具备面临基于输送部的基材的输送路径而设置的除电部(20)和控制部，该控制部对输送部进行控制，当将基材输送于处理装置时，使输送部沿着经由除电部的输送路径(R1～R5)。

主权项

一种标记装置，其特征在于：具有多个处理装置和输送部，所述多个处理装置对基材进行处理，所述输送部在前述多个处理装置之间输送前述基材；具备除电部和控制部，所述除电部面临基于前述输送部的前述基材的输送路径而设置，所述控制部对前述输送部进行控制，前述控制部，当将前述基材输送于前述处理装置时，使前述基材以与前述除电部非接触的状态沿着经由前述除电部的输送路径，前述控制部，使前述除电部中的前述基材的输送速度比到达该除电部为止时的输送速度低。