| 摘要 |
<p>본 발명은 레이저 발진기의 효력을 충분히 활용할 수 있고, 더구나 멀티빔의 빔 간 거리를 임의로 설정 가능하며, 광축 조정이 용이하고, 또한 가공 조건을 피가공물마다 간단히 전환할 수 있는 광학계 및 레이저 가공 장치를 제공할 수 있다. 레이저 광원(11)과, 레이저 광원(11)으로부터 나온 광이 입사되고, 그 입사광을 복수의 광으로 분기하는 회절 광학 소자(12)와, 회절 광학 소자(12)에서 분기된 광을 분기 각도에 따른 복수 부분에 집광하는 집광 렌즈(13)와, 회절 광학 소자(12)의 광원측의 광로 상에 배치되며 적어도 1축 방향으로 변배하는 제1 작용을 부여하는 제1 변배 광학계(14)와, 회절 광학 소자(12)의 집광 렌즈(13)측의 광로 상에 배치되며 제1 작용을 상쇄하는 제2 작용을 부여하는 제2 변배 광학계(15)를 구비한 광학계이다.</p> |
