SCANNING MIRROR CONTROL

摘要

주사빔투사시스템(100)은 고속주사축(fast-scan axis)과 저속주사축(slow-scan axis)을 구비한 주사거울(116)을 포함한다. 저속주사축 상의 이동은 저속주사 주사거울제어시스템(130)에 의해 제어된다. 제어시스템은 거울의 각변위(angural displacement)를 나타내는 위치정보를 수신한다. 제어시스템의 외부루프는 주파수영역(frequency domain)에서 동작하며 또한 주사거울 구동신호에 대한 고조파구동계수들(harmonic drive coefficients)을 결정한다. 제어시스템의 내부루프는 시간영역(time domain)에서 동작하며 또한 고조파구동계수들이 점유한 주파수대역 내의 한 주파수에서 주사거울 공진진동모드(resonant vibration mode)를 보상한다.