申请人 |
ASML荷兰公司 ASML NETHERLANDS B. V. |
发明人 |
倪祺佩洛 安得列 亚历山卓维克 NIKIPELOV, ANDREY ALEXANDROVICH;亚克曼司 乔汉那斯 安东尼司 杰瑞德思 AKKERMANS, JOHANNES ANTONIUS GERARDUS;葛里民克 李奥纳德斯 雅得安司 杰拉德斯 GRIMMINCK, LEONARDUS ADRIANUS GERARDUS;洛卜史塔 艾瑞克 罗勒夫 LOOPSTRA, ERIK ROELOF;瑞肯 麦可 乔赛夫 玛堤斯 RENKENS, MICHAEL JOZEF MATHIJS;托马 爱德瑞恩 TOMA, ADRIAN;尼恩休斯 汉 冠 NIENHUYS, HAN-KWANG |