发明名称 波荡器;AN UNDULATOR
摘要 一种用于一自由电子雷射之波荡器,其包含用于一电子射束之一管及沿着该管轴向地延伸之一或多个周期性磁性结构。每一周期性磁性结构包含复数个磁体及复数个被动铁磁性元件,在一轴向方向上延伸之一线中交替地配置该复数个磁体与该复数个被动铁磁性元件。该复数个磁体中之每一者与该管空间地分离,且该等被动铁磁性元件中之每一者自一邻近磁体朝向该管径向地延伸。可在该等磁体与该管之间提供一间隔元件以提供用于该等磁体之辐射屏蔽及/或提供用于该管之冷却。
申请公布号 TW201543966 申请公布日期 2015.11.16
申请号 TW104110562 申请日期 2015.03.31
申请人 ASML荷兰公司 ASML NETHERLANDS B. V. 发明人 倪祺佩洛 安得列 亚历山卓维克 NIKIPELOV, ANDREY ALEXANDROVICH;亚克曼司 乔汉那斯 安东尼司 杰瑞德思 AKKERMANS, JOHANNES ANTONIUS GERARDUS;葛里民克 李奥纳德斯 雅得安司 杰拉德斯 GRIMMINCK, LEONARDUS ADRIANUS GERARDUS;洛卜史塔 艾瑞克 罗勒夫 LOOPSTRA, ERIK ROELOF;瑞肯 麦可 乔赛夫 玛堤斯 RENKENS, MICHAEL JOZEF MATHIJS;托马 爱德瑞恩 TOMA, ADRIAN;尼恩休斯 汉 冠 NIENHUYS, HAN-KWANG
分类号 H05H7/04(2006.01);H01S3/09(2006.01);G03F7/20(2006.01) 主分类号 H05H7/04(2006.01)
代理机构 代理人 林嘉兴
主权项
地址 荷兰 NL