曝光头、曝光装置及用于操作曝光头的方法;EXPOSURE HEAD, EXPOSURE APPARATUS AND METHOD OF OPERATING AN EXPOSURE HEAD

摘要

本发明系针对一种用于在一曝光装置中使用以用于照明一表面的曝光头，该曝光头包含：一或多个辐射源，其用于提供一或多道射束；一光学扫描单元，其经配置以用于接收该一或多道射束且用于朝向该表面指引该等射束以用于使该等射束中之每一者撞击于一撞击光点上；一旋转致动单元，其连接至该光学扫描单元以用于至少部分地旋转该光学扫描单元，其中该一或多道射束之该等撞击光点藉由该光学扫描单元的该至少部分旋转跨于该表面上得以扫描，其中该光学扫描单元包含一透射性元件，该透射性元件包括用于接收该一或多道射束及用于在该等射束输送通过该透射性元件之后输出该等射束的一或多个小面，以用于在该透射性元件之该旋转后即使该等射束移位从而允许该等撞击光点的该扫描。