| 发明名称 |
研磨用组成物;POLISHING COMPOSITION |
| 摘要 |
本发明提供一种使用具有研磨垫之研磨装置研磨由硬脆材料所成之研磨对象物时，在150g/cm 2 以上之高的研磨荷重(研磨压力)条件下，可以高的研磨速度研磨由维氏(Vickers)硬度超过1,500HV之硬脆材料所成之研磨对象物，且可抑制该研磨对象物表面之刮伤等缺陷发生、或研磨垫或保持治具等之刮伤发生之研磨用组成物。;本发明之研磨用组成物系使用具有研磨垫之研磨装置，在150g/cm 2 以上之研磨荷重下研磨由维氏硬度超过1,500HV之硬脆材料所成之研磨对象物之用途所使用之研磨用组成物，其包含研磨粒、水、吸附于前述研磨垫表面而减低前述研磨垫与前述研磨对象物之间不必要摩擦阻抗之添加剂。 |
| 申请公布号 |
TW201542791 |
申请公布日期 |
2015.11.16 |
| 申请号 |
TW104111959 |
申请日期 |
2015.04.14 |
| 申请人 |
福吉米股份有限公司 FUJIMI INCORPORATED |
发明人 |
芹川雅之 SERIKAWA, MASAYUKI;诸江泰宏 MOROE, YASUHIRO;水谷俊美 MIZUTANI, TOSHIMI;中岛丽子 NAKAJIMA, REIKO |
| 分类号 |
C09K3/14(2006.01);H01L21/304(2006.01);B24B37/00(2012.01) |
主分类号 |
C09K3/14(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 JP |
