| 摘要 |
가스 주입 시스템은 (a) 측부 가스 플리넘, (b) 상기 측부 가스 플리넘에 커플링되는 복수의 (N개의) 가스 유입구들, (c) 상기 플리넘으로부터 방사상 내측으로 연장하는 복수의 측부 가스 배출구들, (d) 상기 N개의 가스 유입구들에 각각 커플링되는 N개의 출력부들을 갖는 N-방향 가스 유동비 제어기, 및 (e) M개의 출력부들을 갖는 M-방향 가스 유동비 제어기를 포함하며, 상기 M개의 출력부들 중 각각의 출력부들은 조정가능한 가스 노즐 및 상기 N-방향 가스 유동비 제어기의 가스 입력부에 커플링된다. |
