干涉测量中的扫描同步方法

摘要

公开了干涉测量中的扫描同步方法，包括：产生第一和第二振荡信号；产生第三振荡信号；使物体振荡；产生图像触发信号；施加图像触发信号。产生第一和第二振荡信号包括：产生具有用于使物体振荡的预定周期的第一振荡信号，并产生具有与第一振荡信号同步脉冲波形的第二振荡信号。产生第三振荡信号包括：产生第三振荡信号，其在第二振荡信号周期的每整数倍时被延迟预定相位。使物体振荡包括：通过第一振荡信号使物体振荡。产生图像触发信号包括：通过在被延迟的第三振荡信号的每个脉冲处对第三振荡信号采样来产生图像触发信号。施加图像触发信号包括：向图像获取器施加图像触发信号以便获取物体的图像。因此，当物体振荡时在不同相位处获取物体图像。

主权项

一种干涉测量中的扫描同步方法，其用于干涉仪，所述干涉仪包括：光源；测量头，其将从所述光源发出的光引导至物体和参考镜，以便可以通过从所述物体反射的光和来自于所述参考镜的参考光来形成干涉条纹；图像获取器，其获取由所述测量头形成的干涉条纹的图像；以及振荡发生器，其使所述物体振荡，所述方法包括：产生具有用于使所述物体振荡的预定周期的第一振荡信号，并且产生具有与所述第一振荡信号同步的脉冲波形的第二振荡信号；产生第三振荡信号，其在所述第二振荡信号的周期的每整数倍时被延迟预定相位；通过所述第一振荡信号使所述物体振荡；通过在被延迟预定相位的所述第三振荡信号的每个脉冲处对所述第三振荡信号进行采样来产生图像触发信号；以及向所述图像获取器施加所述图像触发信号，以便获取所述物体的图像，其中，当所述物体振荡时，在不同相位处获取所述物体的图像。