发明名称 Laser annealing apparatus having air bearing for transferring substrate
摘要
申请公布号 KR101089626(B1) 申请公布日期 2011.12.06
申请号 KR20090067707 申请日期 2009.07.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;H01L21/677 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
地址