用于在光学计量中提供照明的系统

摘要

本发明针对于用于向用于光学计量的测量头提供照明的系统。在本发明的一些实施例中，来自多个照明源的照明光束经组合以将处于一或多个选定波长的照明递送到所述测量头。在本发明的一些实施例中，递送到所述测量头的照明的强度及/或空间相干性被控制。在本发明的一些实施例中，处于一或多个选定波长的照明是从经配置用于提供处于连续波长范围的照明的宽带照明源递送的。

主权项

一种用于向测量头提供照明的系统，其包括：多个照明源，其包含第一照明源、第二照明源、第三照明源、第四照明源、第五照明源及第六照明源；第一折叠镜，其经配置以沿着导引路径反射来自所述第一照明源的照明；第二折叠镜，其经配置以沿着所述导引路径反射来自所述第二照明源的照明；第一二向色组合器，其经配置以沿着所述导引路径透射来自所述第一照明源的照明，所述第一二向色组合器进一步经配置以沿着所述导引路径反射来自所述第三照明源的照明；第二二向色组合器，其经配置以沿着所述导引路径透射来自所述第二照明源的照明，所述第二二向色组合器进一步经配置以沿着所述导引路径反射来自所述第四照明源的照明；第三二向色组合器，其经配置以沿着所述导引路径透射来自所述第一照明源的照明及来自所述第三照明源的照明，所述第三二向色组合器进一步经配置以沿着所述导引路径反射来自所述第五照明源的照明；第四二向色组合器，其经配置以沿着所述导引路径透射来自所述第六照明源的照明；所述第四二向色组合器进一步经配置以沿着所述导引路径反射来自所述第二照明源的照明及来自所述第四照明源的照明；及第五二向色组合器，其经配置以沿着照明路径将来自所述第二照明源的照明、来自所述第四照明源的照明及来自所述第六照明源的照明透射到测量头，所述第五二向色组合器进一步经配置以沿着所述照明路径将来自所述第一照明源的照明、来自所述第三照明源的照明及来自所述第五照明源的照明反射到所述测量头。