| 主权项 |
一种无线无源MEMS温度传感器，其特征在于：包括衬底(1)，在衬底(1)下方正中位置设空腔(11)，将衬底(1)正对空腔(11)的区域称为空腔区域，周侧的其他区域称为侧壁区域；在衬底(1)的上表面由下至上依次设置下介质层(21)、第一中间介质层(22)、第二中间介质层(23)、第三中间介质层(24)和上介质层(25)，下介质层(21)、第一中间介质层(22)、第二中间介质层(23)、第三中间介质层(24)和上介质层(25)均覆盖空腔区域和侧壁区域；在下介质层(21)和第一中间介质层(22)之间设置第一铁磁材料层(31)，第一铁磁材料层(31)位于空腔区域；在第一中间介质层(22)和第二中间介质层(23)之间设置第一敏感电感(51)和电容下级板(41)，第一敏感电感(51)位于空腔区域，电容下级板(41)位于侧壁区域，第一敏感电感(51)为矩形螺旋面结构，电容下级板(41)与第一敏感电感(51)的外侧端连接；在第二中间介质层(23)和第三中间介质层(24)之间设置第二敏感电感(52)和电容上级板(42)，第二敏感电感(52)位于空腔区域并位于第一敏感电感(51)正上方，电容上级板(42)位于侧壁区域并位于电容下极板(41)正上方，第二敏感电感(52)为矩形螺旋面结构，电容上级板(42)与第二敏感电感(52)的外侧端连接；在第三中间介质层(24)和上介质层(25)之间设置第二铁磁材料层(32)，第二铁磁材料层(32)位于空腔区域；在第一中间介质层(22)上表面的中心位置设置连接柱(6)，连接柱(6)贯穿第二中间介质层(23)并深入到第三中间介质层(24)内，第一敏感电感(51)的内侧端和第二敏感电感(52)的内侧端均与连接柱(6)连接，实现第一敏感电感(51)和第二敏感电感(52)的串联，最终构成传感器LC回路中的敏感电感；所述电容上极板(42)、电容下级板(41)以及电容上极板(42)与电容下极板(41)之间的第二中间介质层(23)共同构成传感器LC回路中的电容。 |
