用于转盘处理腔室的具有刚性板的大气盖

摘要

揭示包括盖组件的处理腔室，该盖组件在注入器组件之上形成空间，以减少该注入器组件由于该注入器组件的处理侧与该注入器组件的大气侧之间的压力差所导致的偏移。

主权项

一种处理腔室，包括：腔室主体，所述腔室主体包括底壁和侧壁；基座组件，所述基座组件在所述腔室主体中，用于支撑多个基板并使所述多个基板围绕中心轴旋转，所述基座组件具有顶表面；注入器组件，所述注入器组件被定位在所述基座组件之上并且具有后表面和前表面，所述前表面面向所述基座组件的顶表面并限定处理空间，所述注入器组件的外周边缘将所述注入器组件支撑在所述腔室主体的侧壁上；以及腔室盖，所述腔室盖包括顶壁和侧壁，所述侧壁可连接至所述腔室主体侧壁，所述注入器组件的顶表面以及所述腔室盖顶壁和侧壁限定盖空间。