主权项 |
一种彩色滤光片基板之曝光方法,该彩色滤光片基板系具有矩形状的显示区域、沿着第1方向的各边的一对第1非显示区域、及沿着第2方向的各边的一对第2非显示区域;在该显示区域设置复数个着色像素及复数个光间隔物(PS),在该第1及第2非显示区域设置复数个虚拟光间隔物(PS);该矩形状的显示区域系具有在该第1方向上延伸的一对边及在与该第1方向正交的该第2方向上延伸的一对边;该曝光方法具备下述步骤:一面在该第1方向上搬送涂布有第1色的光阻剂的基板,一面间歇地进行复数次的曝光,以在该第1非显示区域内形成第1层的步骤,该第1层系由与形成该第1色的着色像素的材料相同的材料构成,而构成第1虚拟PS;一面在该第2方向上搬送涂布有第2色的光阻剂的基板,一面间歇地进行复数次的曝光,以在该第2非显示区域内形成第2层的步骤,该第2层系由与形成该第2色的着色像素的材料相同的材料构成,而构成第2虚拟PS;及对涂布有第3色的光阻剂的基板进行1次曝光,以形成第3层并形成第4层;该第3层系与该第1非显示区域内的该第1层一起层积,由与形成该第3色的着色像素的材料相同的材料构成,而构成该第1虚拟PS;该第4层系与该第2非显示区域内的该第2层一起层积,
由与形成该第3色的着色像素的材料相同的材料构成,而构成第2虚拟PS;其中,按任意顺序进行形成该第1层的步骤、形成该第2层的步骤、及形成该第3层及该第4层的步骤。
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