| 摘要 |
<p>본 발명에는 제1 블럭 코폴리머를 포함하는 제1 조성물을 기판 위에 배치하는 단계 (여기서, 상기 제1 블럭 코폴리머는 서로 공유결합에 의해 결합되어 있으며 서로 화학적으로 상이한, 제1 절편과 제2 절편을 포함하며; 상기 제1 절편은 제1 표면 자유 에너지를 가지며 제2 절편은 제2 표면 자유 에너지를 갖는다); 및 제2 코폴리머를 포함하는 제2 조성물을 제1 블럭 코폴리머의 자유 표면 위에 배치하는 단계 (여기서, 상기 제2 코폴리머는 표면 자유 에너지 감소 잔기를 포함하며; 상기 표면 자유 에너지 감소 잔기는 제1 표면 자유 에너지 및 제2 표면 자유 에너지보다 낮은 표면 자유 에너지를 가지며; 상기 제2 코폴리머는 제1 블럭 코폴리머에 대한 친화성을 갖는 잔기 1종 이상을 추가로 포함하고; 상기 표면 자유 에너지 감소 잔기는 상기 제1 절편 및 제2 절편과 화학적으로 상이하다)를 포함하는 방법이 개시되어 있다.</p> |
