线性平台之量测装置及其量测方法

主权项

一种线性平台之量测装置，其用以量测一线性平台的位移量，该线性平台之量测装置包含： 一光源，提供一入射光； 一二维光栅，设置于该入射光的路径上，该二维光栅反射一反射光； 一四象限感测器(QPD)，设置于该反射光的路径上，该四象限感测器接收该反射光，以产生复数个感测讯号；以及 一处理器，接收该些感测讯号，并将该些感测讯号透过该二维光栅之一斜率讯号公式计算一斜率讯号，且该处理器将该些感测讯号透过二维光栅之一位置讯号公式求得一初始位置讯号及一终止位置讯号，其中该处理器根据该斜率讯号、该初始位置讯号及该终止位置讯号求得该线性平台的位移量。