主权项 |
一种半导体装置,包含:第一导电层,在基板之上;第一绝缘层,在该第一导电层之上;氧化物半导体层,在该第一绝缘层之上且与该第一导电层重叠,该氧化物半导体层包括通道区,其中该第一导电层与该通道区重叠;第二导电层,与该氧化物半导体层接触;第三导电层,与该氧化物半导体层接触;第二绝缘层,在该氧化物半导体层、该第二导电层、及该第三导电层之上;以及第四导电层,在该第二绝缘层之上且与该通道区重叠,其中该氧化物半导体层包含第一区及第二区,其中该第一区比该第二区更接近该第二绝缘层,其中该第一区包含晶体,并且该晶体的c轴实质上垂直于该第二绝缘层,其中该第二区具有比该第一区更低的晶性,以及其中包括在该第一区中所有金属元素系包括在该第二区中,以及包括在该第二区中所有金属元素系包括在该第一区中。
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