半导体处理装置及半导体处理方法

主权项

一种半导体处理装置，包括：一负载室，系用以接收一晶圆载体；一内晶圆载体缓冲器，系用以固持从该负载室所接收之该晶圆载体以及执行一氮气清除于该晶圆载体；以及一处理模组，系用以从该晶圆载体执行一半导体制程于复数个晶圆，其中，该内晶圆载体缓冲器更具有一加压装置，以及该加压装置系连接于该晶圆载体，用以控制该晶圆载体之压力。