电子元件之生产管理装置、生产管理系统及生产管理程式

主权项

一种电子元件之生产管理装置，其实施以下处理：利用将关于电子元件所包含之构成要素之制造条件值，及利用上述制造条件值制造之情形时之上述构成要素之包含关于厚度之值及关于尺寸之值之至少一者之特性相互建立关连而保存之第1资料库，而产生关于与包含上述制造条件值中之预先设定之第1处理条件值及接近上述第1处理条件值之复数个处理条件值之第1邻近条件值对应之上述构成要素之特性之关系之第1模式函数；基于上述第1模式函数而决定用以获得上述构成要素之特性之第1制造条件值；利用使用上述经决定之上述第1制造条件值而实际形成上述电子元件之上述构成要素时之上述第1制造条件值与上述构成要素之上述特性之测定值，而算出与上述特性之测定值之上述第1模式函数对应之平方预测误差；于上述算出之上述平方预测误差大于预先设定之基准值时，不校正上述第1模式函数而将上述第1制造条件值设定为下一个上述电子元件之第2制造条件值；于上述算出之上述平方预测误差为上述基准值以下时，利用经追加上述实际形成时之上述第1制造条件值与上述构成要素之上述特性之上述测定值之上述第1资料库而产生第2模式函数，并基于上述第2模式函数而决定用以获得上述构成要素之特性之第2制造条件值；及于变更上述电子元件之规格时，反映伴随着上述规格之变更的上述构成要素之上述特性之变化，而将上述第1资料库之值藉由比例运算加以转换，藉而产生假想资料库。