一种等离子氢处理制备黑色Y₂O₃陶瓷涂层的方法

摘要

本发明涉及Y₂O₃陶瓷涂层制造技术领域，具体涉及一种等离子氢处理制备黑色Y₂O₃陶瓷涂层的方法。所述方法，包括如下步骤：步骤(1)，选择纯度大于99.95％的Y₂O₃粉末；步骤(2)，对待喷涂的基材表面进行预处理；步骤(3)，通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备出Y₂O₃涂层；步骤(4)，将步骤(4)中制备出的Y₂O₃涂层进行等离子体氢处理，即可得到黑色的Y₂O₃涂层。本发明利用等离子体氢还原法制备的黑色Y₂O₃涂层，具有耐刻蚀、耐脏的性能，且成本较低。

主权项

一种等离子氢处理制备黑色Y₂O₃陶瓷涂层的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤(1)，选择纯度大于99.95％的Y₂O₃粉末；步骤(2)，对待喷涂的基材表面进行预处理；步骤(3)，通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备出Y₂O₃涂层；步骤(4)，将步骤(3)中制备出的Y₂O₃涂层放置于等离子体氢处理设备，进行等离子体氢处理，即可得到黑色的Y₂O₃涂层；其中，所述步骤(2)中对待喷涂的基材表面进行预处理，具体包括如下步骤：对待喷涂的基材表面进行喷砂处理，并用丙酮清洗；所述喷砂处理采用的喷砂材料为白刚玉，喷砂粒度为50～100μm；所述步骤(3)中等离子体喷涂设备使用的离子气体为Ar和He，或Ar和H₂；当所述离子气体为Ar和He时，Ar气体的流量为40～90L/min，He气体的流量为2～10L/min；当所述离子气体为Ar和H₂时，Ar气体的流量为40～90L/min，H₂气体的流量为5～20L/min；所述步骤(3)中等离子体喷涂设备在喷涂过程中，采用空气喷吹方法或者循环水冷方法来冷却基体，所述空气喷吹方法中冷却气体的流量为100～2000L/min，所述循环水冷方法中冷却水的流量为10～500L/min；所述步骤(4)中等离子体氢处理设备腔室的工作气压为0.1Pa～100Pa，工作功率为50W～500W，所述设备腔室内基体温度为50℃～200℃，等离子体氢还原时间为30min～2h，氢气流量为50～500mL/min。