基板检测夹具设计方法，基板检测夹具及基板检测装置

摘要

本发明提供检测夹具设计方法，通过该方法可以补偿基于基板制造过程中由伸缩而引起的位置偏差。基板检测夹具设计方法是用于设计具有接触端子的基板检测夹具，且接触端子能导通接触检测对象基板的检测点。基板检测夹具设计方法包含第1设计工序、伸缩率获取工序以及第2设计工序。在第1设计工序中，基于作为检测对象的基板的设计数据，编成初步设计基板检测夹具的初步设计数据。在伸缩率获取工序中，基于基板的制造条件，获取所述基板的伸缩率。在第2设计工序中，将初步设计数据以伸缩率缩放，由此获取实际制造基板检测夹具的设计数据。

主权项

一种基板检测夹具设计方法，用于设计具有接触端子的基板检测夹具，且所述接触端子能导通接触作为检测对象的基板的检测点，所述基板检测夹具设计方法包含：第1设计工序，基于作为检测对象的所述基板的设计数据，编成临时设计基板检测夹具的初步设计数据；伸缩率获取工序，至少基于所述基板的基本制造条件，获取所述基板的伸缩率；以及第2设计工序，将所述初步设计数据以所述伸缩率缩放，由此获取实际制造基板检测夹具的设计数据。