一种无损、快速TSV结构侧壁形貌测量方法

摘要

本发明公开了一种无损、快速的TSV结构侧壁形貌测量方法，包括如下步骤：利用高分辨率IR显微镜，调节聚焦深度，选取多个焦平面；选定其中一焦平面，并针对该焦平面所获得的图像，获得圆心的位置；计算边缘轮廓到圆心的距离，获得该焦平面图像的边缘到圆心的距离分布；改变焦平面位置，重复步骤三，计算出每一个焦平面图像的边缘到圆心的距离分布，获得在同一个旋转角度下，边缘在深度方向到圆心的距离分布；结合步骤五所得的计算结果，得到TSV结构侧壁的三维形貌分布；通过统计计算，获得TSV结构侧壁的形貌测量。

主权项

一种无损、快速的TSV结构侧壁形貌测量方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、利用高分辨率IR显微镜，调节聚焦深度，选取多个焦平面；步骤二、选定其中一个焦平面，并针对该焦平面所获得的图像，获得圆心的位置；步骤三、计算边缘轮廓到圆心的距离，获得该焦平面图像的边缘到圆心的距离分布；步骤四、改变焦平面位置，重复步骤三，计算出每一个焦平面图像的边缘到圆心的距离分布，获得在同一个旋转角度下，边缘在深度方向到圆心的距离分布；步骤五、结合步骤四所得的计算结果，得到TSV结构侧壁的三维形貌分布；步骤六、通过统计计算，获得TSV结构侧壁的形貌测量。