发明名称 |
一种晶圆测试的斜块升降机构 |
摘要 |
本发明公开了一种晶圆测试的斜块升降机构,旨在解决晶圆测试用升降机构顶升力较小,顶升稳定性较差,精度低,结构复杂,制造成本高的不足。该发明包括底座、托板,底座上固定连接有若干个升降滑轨座,托板可升降连接在升降滑轨座上,底座上可滑动连接支撑座,支撑座设置在托板下方,支撑座上固定连接有丝杆螺母,底座上安装有驱动电机,驱动电机输出轴传动连接丝杆,丝杆与丝杆螺母配合连接,支撑座上设有斜块,斜块上端面为倾斜平面;托板上安装有滚轮,滚轮抵接在斜块上端面上,托板和底座之间安装有托板位移测量用光栅尺,驱动电机电连接编码器,光栅尺电连接编码器。 |
申请公布号 |
CN105047575A |
申请公布日期 |
2015.11.11 |
申请号 |
CN201510336986.4 |
申请日期 |
2015.06.17 |
申请人 |
杭州长川科技股份有限公司 |
发明人 |
方兆文;胡东辉;叶键波;姚建强 |
分类号 |
H01L21/66(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/66(2006.01)I |
代理机构 |
杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 |
代理人 |
尉伟敏 |
主权项 |
一种晶圆测试的斜块升降机构,包括底座、托板,其特征是,底座上固定连接有若干个升降滑轨座,托板可升降连接在升降滑轨座上,底座上可滑动连接支撑座,支撑座设置在托板下方,支撑座上固定连接有丝杆螺母,底座上安装有驱动电机,驱动电机输出轴传动连接丝杆,丝杆与丝杆螺母配合连接,支撑座上设有斜块,斜块上端面为倾斜平面;托板上安装有滚轮,滚轮抵接在斜块上端面上,托板和底座之间安装有托板位移测量用光栅尺,驱动电机电连接编码器,光栅尺电连接编码器。 |
地址 |
310000 浙江省杭州市滨江区滨安路1197号6幢420室 |